至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆干燥装置”

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证券之星消息，根据企查查数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆干燥装置”，专利申请号为CN202322734082.X，授权日为2024年6月7日。

专利摘要：本实用新型涉及晶圆干燥装置，包括：干燥槽体及至少一组气体喷流模组；气体喷流模组设置于干燥槽体顶部的盖体，用于向干燥槽体内喷射氮气，包括氮气导流管及H型氮气分流管；H型氮气分流管包括沿干燥槽体长度方向平行分布的纵部，及连接纵部的横部；氮气导流管连接外部氮气加注管，并与横部的中间位置连接；述纵部面向干燥槽体设有若干均匀排列的氮气喷淋口，且氮气喷淋口的直径自横部位置向横部两侧沿纵部的长度方向渐进式增大。本实用新型中氮气导流管与H型氮气分流管建立紧凑的配置方式，改善干燥气流路径，使得氮气均匀分布在晶圆片上，减少了氮气充盈干燥槽体的时间。

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今年以来至纯科技新获得专利授权13个，较去年同期减少了31.58%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.24亿元，同比增16.35%。

数据来源：企查查

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