拓荆科技获得发明专利授权：“一种半导体加工设备及其管路结构”

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证券之星消息，根据企查查数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种半导体加工设备及其管路结构”，专利申请号为CN202111523566.9，授权日为2024年8月2日。

专利摘要：本发明公开了一种半导体加工设备及其管路结构，该管路结构包括接管部件，所述接管部件具有一个用于与半导体加工设备的等离子发生器连接的入口端部，所述接管部件还具有至少两个出口端部；所述接管部件在所述入口端部和每个所述出口端部之间形成有流通通路，各所述流通通路相互分隔开；所述出口端部连接有用于与半导体加工设备的反应腔连接的支线管路。该管路结构的设置可在不影响清洁的基础上，减少沉积时工艺气体返流时流向其他反应腔的机会，并且结构简单易维护。

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今年以来拓荆科技新获得专利授权19个，较去年同期减少了56.82%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了5.76亿元，同比增52.07%。

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数据来源：企查查

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